位于海淀區(qū)中關村的“硬科技”企業(yè)中科科儀公司，積極落實“新十條”聯防聯控機制，加速樹立“每個人都是自己健康的第一責任人”的科學防控意識，適時調整疫情防控應對預案，全面復工復產，助推國產高端科學儀器裝備與核心零部件產業(yè)化進程。

記者在中科科儀的辦公現場看到，研發(fā)和生產人員正繁忙有序地進行著半導體行業(yè)專用磁懸浮分子泵的開發(fā)測試和掃描電鏡的裝配調試，加快研發(fā)和生產節(jié)奏，有力有序，復工復產，穩(wěn)產滿產。據悉，“新十條”政策出臺后，中科科儀符合條件的人員已經全部到崗，達產率達100%，各項經營活動正常開展。

測試有序進行

記者來到中科科儀總部五層的真空技術研發(fā)中心，看到研發(fā)人員正在加緊進行半導體行業(yè)專用磁懸浮分子泵最后的測試，工藝成熟后，產品將轉入分子泵生產線進行大批量生產。

“航空航天、半導體制造、國防科技、科研儀器、大科學工程……凡是需要超高真空環(huán)境的行業(yè)，都需要用到分子泵，是科學儀器、前沿科學裝置和產業(yè)裝備等不可或缺的核心零部件，而這里正在測試的磁懸浮分子泵是半導體前道工藝裝備必不可少的核心零部件。”中科科儀的工作人員告訴記者。

據悉，中科科儀研制出的磁懸浮分子泵，已經批量應用于半導體前道工藝裝備，為解決我國科學儀器與高端裝備核心零部件受制于人的“卡脖子”問題不斷努力。

調試正常開展

隨后，記者又來到掃描電鏡的調試區(qū)域，只見一臺臺掃描電鏡正在總調人員面前進行最后的整機調試，準備將發(fā)往全國各地的客戶現場。中科科儀的工作人員表示，掃描電鏡被列為國家三十五項“卡脖子”技術之一，也被稱為科學界的“納米之眼”。借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，觀測到病毒、半導體器件的納米結構等，幫助人類解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，成為前沿科學研究和高端產業(yè)的必備工具，在助力高端產業(yè)發(fā)展方面也發(fā)揮著不可或缺的作用。

“它不僅廣泛應用于生命科學、航天航空等尖端科學研究，也在新能源、新材料等諸多行業(yè)的工藝環(huán)節(jié)以及環(huán)境保護、司法鑒定等領域批量應用，為我國高端產業(yè)的發(fā)展發(fā)揮了重要作用。尤其是在半導體行業(yè)的器件檢測和晶圓檢測等制造環(huán)節(jié)，均實現批量應用，助力我國半導體產業(yè)自主可控。”中科科儀工作人員告訴記者。

保障訂單供應

疫情之下，面對歷史新高的科學儀器和核心零部件訂單需求，企業(yè)的創(chuàng)新研發(fā)與批量生產都面臨重重挑戰(zhàn)。記者了解到，在之前的新一代產品磁懸浮分子泵的研制過程中，為早日完成研制和產業(yè)化生產交付，中科科儀研發(fā)技術與生產團隊每天堅持線上開展項目工作會議，留駐公司的技術人員連續(xù)數天加班到深夜，全力克服疫情影響，確保交付成果達到最佳狀態(tài)，最終在疫情期間完成了磁懸浮分子泵的研制和產業(yè)化生產任務。

“當前，我們研制的磁懸浮分子泵在刻蝕、離子注入等半導體前道工藝核心制程中已經實現國產化替代，進入國內半導體裝備頭部企業(yè)，并在光伏、鋰電等新能源行業(yè)實現大批量應用，以高性價比和供應優(yōu)勢實現國產化替代，助力國家雙碳經濟發(fā)展。”中科科儀相關業(yè)務負責人表示。