陳寶欽

一、人物介紹

陳寶欽，男，82歲，中共黨員，畢業(yè)于北京大學(xué)物理系，中國科學(xué)院微電子研究所研究員、教授。兼職中國科學(xué)院大學(xué)教授、全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會微光刻分委會秘書長。從事微光刻與電子束光刻技術(shù)研究。陳寶欽教授親歷中國光刻技術(shù)發(fā)展六十年，踐行他年輕時(shí)許下的諾言：要健康為祖國工作五十年，他做到了。在這幾十年中，他堅(jiān)持做好每一件簡單而平凡的事,堅(jiān)守著微電子微光刻陣地,為微電子科技攀登事業(yè)背了一輩子氧氣瓶,沉淀下了厚實(shí)的人生。正如其言，從青年時(shí)代到耄耋之年，參與到了諸多微光刻技術(shù)研究中，將自己的研究經(jīng)歷總結(jié)為一輩子就干一件事：光掩模制造與光刻技術(shù)，見證了中國微電子技術(shù)特別是光刻技術(shù)的從無到有的發(fā)展整個(gè)過程。

二、事跡介紹

陳寶欽年輕時(shí)，為了響應(yīng)毛主席關(guān)于青年知識分子要向工農(nóng)兵學(xué)習(xí)的號召，到環(huán)衛(wèi)工人時(shí)傳祥那里一起背大糞，到北京市昌平縣南口鎮(zhèn)高崖口溜石港大隊(duì)與山區(qū)農(nóng)民同吃同住同勞動(dòng)，到東北遼寧省海城3174部隊(duì)農(nóng)場勞動(dòng)鍛煉……。最臟、最苦、最累、最危險(xiǎn)的活都干過，所有的這些磨煉都給自己的人生留下了豐富的精神財(cái)富。而且陳寶欽老師還說，他這一輩子還有一個(gè)最有意思、最有意義的最，就是從事了一輩子半導(dǎo)體、微電子、微光刻、電子束光刻、微納米加工技術(shù)的科研工作及培養(yǎng)研究生和青少年科普工作。

青年陳寶欽(左三)與時(shí)傳祥合影

背一輩子“氧氣瓶”

“我們這一代人年輕時(shí)既有當(dāng)科學(xué)家工程師的理想，也都樹立過這樣的志向：甘當(dāng)攀登科學(xué)高峰征途上背氧氣瓶的營員;甘為祖國建設(shè)大業(yè)中的鋪路石子和一磚一瓦;甘做國家偉大工程中一顆永不生銹的螺絲釘;弘揚(yáng)甘為人梯、獎(jiǎng)掖后學(xué)的育人精神! ”陳寶欽這么說，也是這么做的。從微米到納米、從光學(xué)到電子束、從指導(dǎo)學(xué)生到科普教育，陳寶欽親歷了光刻技術(shù)發(fā)展六十年。

微電子芯片制造技術(shù)是世界加工技術(shù)的珠穆朗瑪峰，攀登科學(xué)高峰需要“氧氣”，而陳寶欽甘愿做那個(gè)背“氧氣瓶”的人。在微光刻尤其是電子束光刻領(lǐng)域，他和我國一批從事微納米加工技術(shù)的科技工作者一道，為能完美實(shí)現(xiàn)更小尺寸而不斷努力。

從手術(shù)刀人工刻出最細(xì)線條0.2毫米，到采用傳統(tǒng)光學(xué)光刻0.5微米;從1K、4K、16K、64K、1M，到超大規(guī)模集成電路;從1微米級傳統(tǒng)光學(xué)光刻，到100納米移相掩模曝光實(shí)驗(yàn)，直到現(xiàn)在采用電子束光刻系統(tǒng)直寫10納米，能找到5納米(電子束加工極限)。陳寶欽這一輩子就干一件事：光掩模制造與光刻技術(shù)。

陳寶欽研究集成電路板

為祖國健康工作50年

陳寶欽年輕時(shí)承諾：“要健康地為祖國工作五十年!”他做到了，同樣付出了代價(jià)。

1963年，他跟隨勞動(dòng)模范時(shí)傳祥一起背大糞，每周末從北京大學(xué)步行三小時(shí)至龍?zhí)逗?，在寒冷的冬天，把裝有百八十斤糞湯的大糞桶搖上糞車，一失手，大糞桶從頭上扣下來，他意外被糞車鐵搖棒打斷了兩顆門牙。

1965年，他參加“四清”工作隊(duì)，吃了兩年樹葉，體重只剩下96斤。

1970年，他負(fù)責(zé)電子束蒸發(fā)工藝，蒸發(fā)臺發(fā)生X射線泄漏，檢測儀檢測時(shí)爆了表。經(jīng)估算，他承受了超過兩輩子允許的倫琴射線積累劑量。果不其然，醫(yī)院檢查結(jié)果顯示其造血功能受到嚴(yán)重?fù)p傷，白血球剩下1100，體溫不到36攝氏度，脈搏不到50，血壓只有60/90，其他血相全部偏低。他憑借自身強(qiáng)大的修復(fù)功能，花了30年各血項(xiàng)指標(biāo)奇跡般地全部恢復(fù)正常。

陳寶欽說：“無論是掏大糞、還是吃樹葉、還是勞動(dòng)改造，還是當(dāng)一個(gè)共產(chǎn)黨員、還是做科研工作者、還是當(dāng)教師、還是干社會工作，任何簡單和平凡的事情都要認(rèn)認(rèn)真真把它搞好，就是對社會有貢獻(xiàn)有價(jià)值的。” 陳寶欽說：“我是一個(gè)老共產(chǎn)黨員，要用簡單而平凡的點(diǎn)點(diǎn)滴滴實(shí)踐出自己厚重的人生，要無愧于《共產(chǎn)黨員》這個(gè)稱號!我們每個(gè)共產(chǎn)黨員最基本的就應(yīng)該做到愛黨、愛國、愛民、敬業(yè)、廉潔、奉公，必須的!只有這樣我們的黨才能永遠(yuǎn)興旺發(fā)達(dá)，我們的民族才能昂首屹立于世界民族之林，不受欺辱。”

做科普，樂在其中

桃李不言，下自成蹊。作為一個(gè)教授和博士生導(dǎo)師，陳寶欽卻自嘲“遠(yuǎn)看像撿破爛的，近看原來是中科院的”。他日常穿著幾十塊錢的衣褲，物質(zhì)上無所求，卻將錢無利息、無條件、無限期、無借條借給留所工作的學(xué)生，前后共支持十余名學(xué)生在京落戶買房，以解決后顧之憂。

“魔方是一種非常好的現(xiàn)代科學(xué)教具。”陳寶欽喜歡研究魔方，并用通俗易懂的語言總結(jié)出一套套技巧和公式以及一整套魔方與科學(xué)的教程，從小培養(yǎng)孩子探索鉆研精神和挑戰(zhàn)自我不服輸?shù)木?。成都七中一學(xué)生聆聽完有關(guān)“微電子技術(shù)及魔方為例談學(xué)習(xí)方法”為題的精彩講座后，留言道：“陳爺爺豐富的人生經(jīng)歷與神奇的魔方知識，使在座的我們受益匪淺，讓人不禁在心中升起一團(tuán)想要接替優(yōu)秀前輩、報(bào)效祖國的熱火。”

陳寶欽(左一)教授學(xué)生魔方還原方法

做微電子科學(xué)技術(shù)“播種機(jī)”

雖已至耄耋，陳寶欽的精力和心態(tài)依舊年輕。陳寶欽的日程表，被《微電子制造工藝與裝備技術(shù)》課程和微電子相關(guān)科普講座填得滿滿當(dāng)當(dāng)。他每年在全國各地開展近百場義務(wù)科普講座，自帶“干糧”，自掏腰包，樂此不疲。

在中國科學(xué)院第三幼兒園為小朋友作《微電子與太空探索》的科普講座后，一位四歲的小朋友拉著他的手親昵地喊陳爺爺，“我是您的鐵粉”。這位小朋友的母親事后反饋，孩子回家后念念不忘陳爺爺?shù)闹v座，說要聽陳爺爺?shù)脑挘?span id="" style="">努力學(xué)習(xí)，將來考上國科大，考微電子學(xué)院的研究生，將來好接替陳爺爺研究微電子科學(xué)!陳寶欽知曉后深受觸動(dòng)。

科學(xué)夢想的種子不經(jīng)意間播撒進(jìn)孩子的心田，一次尋常講演潛移默化中有可能改變了一個(gè)學(xué)生的人生。每每看到孩子們眼里迸射出的亮光，陳寶欽心底油然而生滿滿成就感。他說，大學(xué)生和研究生是中國微電子2030年前的主力軍，幼兒園的娃娃是中國2050年的主力軍，微電子方面缺人才近百萬，微電子科普要從娃娃抓起，希望將來在他們中間能成長出微電子科技工匠!